FprEN 62047-28:2016-04
Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik – Teil 28: Prüfverfahren der Funktionsfähigkeit für schwingungsbasierte MEMS-
Elektret-Bauelemente zum Energy-Harvesting
Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik – Teil 28: Prüfverfahren der Funktionsfähigkeit für schwingungsbasierte MEMS-
Elektret-Bauelemente zum Energy-Harvesting
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